Produktneuheit 16. April 2026

FHR.Star.600-EOSS®

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FHR.Star.600-EOSS®: System für hochpräzise optische Beschichtungsprozesse

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Modulares Anlagenlayout für flexible Prozess‑ und Transferkonzepte

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Sputteranlage zur Abscheidung optischer Interferenzschichten auf großen Substraten mit flachen und gekrümmten Oberflächen.

Systembeschreibung
Die FHR.Star.600-EOSS® ist eine herausragende Lösung zur Herstellung hochpräziser optischer Interferenzschichten
und erfüllt höchste Ansprüche an Schichtdickenhomogenität und Reproduzierbarkeit. Ihre Sputter-up-Technologie
gewährleistet eine makellose Schichtqualität, während die Drehtelleranordnung den Durchsatz erheblich steigert.
Geeignet für flache und gekrümmte Substrate bis zu 320 mm Durchmesser bzw. 370 x 320 mm.

Hauptvorteile
• Verbesserte Schichtqualität mit fehlerfreien Filmen durch bipolare Sputter-Target-Anordnung
• Effiziente aktive Gastrennung zwischen den Prozessbereichen
• Rotierende Targets gewährleisten höchste Materialausbeute und reduzieren Verschleißdrift
• In-situ Magnetfeldregelung
• Vollautomatische Prozesssteuerung
• Rezeptprogrammgenerator für maximale Prozessflexibilität

Anwendungsbereiche der Dünnschichtabscheidung
• Intelligentes Glas (z. B. AR)
• Filter und Spiegel (Bandpass-, Kerb-, Kantenfilter, dichroitische Filter, Polarisatoren usw.)
• Displaytechnologie
• Linsen
• Laserspiegel
• Komponenten für VR-Geräte